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报志愿（第2页）

蓝光LED采用的衬底材料不是IC中常见的硅晶圆，而是晶体结构和GaN接近，但晶格常数失配的蓝宝石。

由于晶格失配，GaN外延层和蓝宝石衬底之间存在失配应力，应力的释放会导致GaN内部产生大量缺陷。这样的材料是没有使用价值的。

“是，是我说的。但晶体缺陷问题，不是我发现的，它是蓝光LED道路上的一个公认难题。”

“我当然知道问题不是你发现的。”刘民学用手轻轻拍了下桌子。“可晶体缺陷，到底发生了没有？”

“晶体缺陷的问题，我们也遇到了。”王青山把两手一摊。“但问题被陈泉解决了。”

“解决了？怎么解决的？谁解决的？是修改设备了吗？我怎么没有收到修改通知书呢？”

刘民学感觉才两天没有关注，MOCVD项目组里居然发生了如此多的事情。

“陈泉没有修改设备，而是修改了工艺步骤。他用了两段的加热方式。先在较低的温度生成一层GaN。然后再把温度提高到正常的1000度。由于应力会在低温GaN层被释放掉，最后生成的高温GaN，晶体品质就没有问题了。”

“就这么简单？先用低温，再用高温？”

刘民学简直不能相信自己的耳朵。GaN晶格缺陷问题，名气非常大。但陈泉的方案，既没有增加设备，也没有增加成本。

“对，就这么简单。”

王青山撇了撇嘴。“说实话，我到现在仍有种做梦的不真实感。陈泉来了以后，直接上手操作。他给我的感觉，怎么说呢....就好像他经常用这台MOCVD一样。可这台设备，明明我们才生产出来。”

“毕竟设备是他设计的，他的操作比生产人员熟练，倒也正常。”刘民学不以为意。“那接下来你们要做什么？直接验收签字，收钱？”

“还没有。”王青山摇头。“陈泉说，他要组织一次蓝光LED实际生产，来验证一下GaN的晶体质量。”

“这怎么可以？”

刘青山一听就炸了。“MOCVD的验收，怎么能跟蓝光LED捆绑在一起？我们顶多给他出具个GaN的检测报告，这还是在我们已经有信心的基础上。”

“是啊，我也是这么说的。因为地球人都知道，蓝光LED有个p型结掺杂失效的老大难问题。”

王青山耸了耸肩。“可他坚持。”

“这个话，由我来说！明天我过去找你们。我们是设备生产商，只对设备负责。更不要提，这台设备还是他自己设计的！”

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